उत्पाद अवलोकन
यह सिंगल वेफर क्लीनर विशेष रूप से सेमीकंडक्टर वेफर कार्य के लिए बनाया गया है -8-इंच से लेकर 12-इंच प्रारूप तक सब कुछ कवर करता है, कोई अपवाद नहीं। प्रत्येक मॉडल सटीक प्रक्रिया नियंत्रण (हीटिंग, एकाग्रता, प्रवाह दर के बारे में सोचें) और एसईसीएस/जीईएम संचार के साथ आता है, इसलिए इसे स्मार्ट फैब्स में एकीकृत करना बहुत आसान है। इससे भी बेहतर, यह आपके एप्लिकेशन की आवश्यकताओं से मेल खाने के लिए पूरी तरह से कॉन्फ़िगर करने योग्य है।
यहां बताया गया है कि श्रृंखला कैसे टूटती है:
एसडब्ल्यूसी 100 :
12-इंच वेफर्स को ध्यान में रखकर डिज़ाइन किया गया। इसमें 8 कक्ष हैं और यह 4 FOUPs के साथ काम करता है, यह उन सभी मानक गीली प्रक्रियाओं को संभालता है जिनकी आपको प्रतिदिन आवश्यकता होती है।
एसडब्ल्यूसी 200:
एक और 12-इंच केंद्रित विकल्प, लेकिन 8 के बजाय बूस्ट-12 कक्षों के साथ, साथ ही 4 FOUP संगतता। मुख्य प्रक्रियाएँ? बिल्कुल SC3100 के समान, इसलिए कोई नई सीख नहीं।
एसईसी प्लस:
झुंड में से एक लचीला. यह 8{5}}इंच और 12-इंच वेफर्स के साथ समान रूप से काम करता है, और आप चैम्बर गिनती को 2 से 8 तक अनुकूलित कर सकते हैं। पावर डिवाइस और सिलिकॉन-आधारित प्रक्रिया सेटअप के लिए बिल्कुल सही।
लाभ
◆ प्रारूप और कॉन्फ़िगरेशन लचीलापन
SWC100 / SWC 200: उच्च-मात्रा मानक उत्पादन के लिए निश्चित 12{5}}इंच समर्थन (8/12 कक्ष)।
एसईसी प्लस: 8-12-इंच अनुकूलता + अनुकूलन योग्य कक्ष, मिश्रित-प्रारूप/पावर डिवाइस वर्कफ़्लो के अनुकूल।
◆ सटीक प्रक्रिया नियंत्रण
सभी मॉडल: हीटिंग/एकाग्रता/प्रवाह/दबाव नियंत्रण, साथ ही वैकल्पिक रसायन विज्ञान (डीएचएफ, एससी1, आदि) और समान प्रसंस्करण के लिए 3ईए नोजल।
एसईसी प्लस: एसिड/बेस/कार्बनिक निकास पृथक्करण + रासायनिक पुनर्ग्रहण, सुरक्षा और लागत दक्षता में वृद्धि।
◆ व्यापक अनुकूलता
SWC100 / SWC 200: 12-इंच फैब एकीकरण के लिए 4FOUP वाहक समर्थन।
एसईसी प्लस: 2-4 ओपन कैसेट/एसएमआईएफ/एफओयूपी अनुकूलता, उपयुक्त विरासत और आधुनिक उत्पादन लाइनें।
अनुप्रयोग
SWC100 / SWC 200 (12-इंच वेफर्स)
मुख्य प्रक्रियाएं: आरसीए सफाई, गेट सफाई, ऑक्साइड नक़्क़ाशी/स्ट्रिपिंग, फोटोरेसिस्ट हटाना।
विशिष्ट उपयोग: कण/धातु/कार्बनिक संदूषण हटाना, पूर्व/बाद में सफाई, Al/Cu इंटरकनेक्ट सफाई (लॉजिक/मेमोरी चिप्स के लिए)।
एसईसी प्लस (8-12-इंच वेफर्स)
लक्ष्य उपकरण: सिलिकॉन कार्बाइड/सिलिकॉन पावर उपकरण, सिलिकॉन-आधारित प्रक्रिया उपकरण।
विशिष्ट प्रक्रियाएं: बैकसाइड थिनिंग/सफाई, पतली वेफर सफाई, उच्च तापमान H3PO4 नक़्क़ाशी, साथ ही मानक संदूषण हटाना और इंटरकनेक्ट सफाई।
पैरामीटर
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विनिर्देश |
एसडब्ल्यूसी100 |
एसडब्ल्यूसी 200 |
एसईसी प्लस |
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वेफर का आकार |
12 इंच |
12 इंच |
8-12 इंच |
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मंडलों |
8 कक्ष |
12 कक्ष |
2-8 कक्ष (अनुकूलन योग्य) |
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वाहक अनुकूलता |
4FOUP |
4FOUP |
2-4 कैसेट/एसएमआईएफ/एफओयूपी खोलें |
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समर्थित रसायन शास्त्र |
डीएचएफ, एससी1, एससी2, डीआईओ3, डीआईसीओ2, आईपीए, एन2 |
डीएचएफ, एससी1, एससी2, डीआईओ3, डीआईसीओ2, आईपीए, एन2 |
एचैंट, एससी1+मेगासोनिक,डीएचएफ,डीआईसीओ2,एन2 |
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प्रक्रिया नियंत्रण सुविधाएँ |
ताप/एकाग्रता/प्रवाह/दबाव नियंत्रण |
ताप/एकाग्रता/प्रवाह/दबाव नियंत्रण |
ताप/एकाग्रता/प्रवाह/दबाव नियंत्रण |
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रासायनिक आपूर्ति सहायता |
N/A |
N/A |
सीसीएसएस, एलसीएसएस |
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निकास प्रबंधन |
N/A |
N/A |
अलग निकास (अम्ल/क्षार/कार्बनिक) |
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अतिरिक्त सुविधाओं |
N/A |
N/A |
रासायनिक पुनर्प्राप्ति; स्नान अति ताप संरक्षण; रिसाव |
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संचार प्रोटोकॉल |
एसईसी/जीईएम |
एसईसी/जीईएम |
एसईसी/जीईएम |
अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न
ये मॉडल किस वेफर आकार का समर्थन करते हैं?
SWC100 / SWC 200 केवल 12-इंच वेफर्स का समर्थन करता है; एसईसी प्लस 8-12-इंच वेफर्स के लिए लचीला है।
SWC100 और SWC 200 में क्या अंतर है?
वे समान 12 इंच प्रक्रिया क्षमताओं को साझा करते हैं - SC3100 में 8 कक्ष हैं, जबकि SWC 200 उच्च थ्रूपुट के लिए 12 कक्षों तक विस्तारित है।
पावर डिवाइस प्रोसेसिंग के लिए कौन सा मॉडल उपयुक्त है?
एसईसी प्लस सिलिकॉन कार्बाइड/सिलिकॉन पावर उपकरणों के लिए अनुकूलित है (बैकसाइड थिनिंग, उच्च तापमान H3PO4 नक़्क़ाशी का समर्थन करता है)।
क्या ये सिस्टम हमारे फैब के एमईएस से जुड़ सकते हैं?
हाँ-सभी मॉडल फ़ैक्टरी एकीकरण के लिए SECS/GEM संचार प्रोटोकॉल का पूर्ण समर्थन करते हैं।
क्या एसई सीरीज रासायनिक लागत बचत सुविधाओं का समर्थन करती है?
हां, इसमें रासायनिक पुनः दावा कार्यक्षमता (रसायनों की पुनर्चक्रण प्रक्रिया) और वर्गीकृत अपशिष्ट जल निकासी शामिल है।
ये सिस्टम किन वाहकों के साथ काम करते हैं?
SWC100 / SWC 200 4FOUP का उपयोग करें; एसईसी प्लस 2-4 ओपन कैसेट/एसएमआईएफ/एफओयूपी (विरासत/आधुनिक लाइनों के अनुकूल) का समर्थन करता है।
लोकप्रिय टैग: सिंगल वेफर क्लीनर, चीन सिंगल वेफर क्लीनर निर्माता, आपूर्तिकर्ता
