उत्पाद अवलोकन
बैच वेफर क्लीनर{{0}जिसमें 12{3}इंच मॉडल और 8{7}इंच बीसी मॉडल{{8}शामिल हैं, को सेमीकंडक्टर निर्माण और सिलिकॉन वेफर प्रसंस्करण में परिशुद्धता के लिए बनाया गया था, जो गीली नक़्क़ाशी और सफाई में विशेषज्ञता रखता है। इसे क्या अलग करता है? प्रारूप लचीलापन जो 12 {{9} इंच और 8 - इंच वेफर्स दोनों के लिए काम करता है, साथ ही किसी भी उत्पादन सेटअप में फिट होने के लिए कॉन्फ़िगर करने योग्य हैंडलिंग विकल्प (कैसेट-कम या कैसेट-प्रकार) - उच्च मात्रा वाले 300 मिमी फैब से लेकर विरासत 200 मिमी लाइनों तक।
हुड के तहत, यह उन विशेषताओं से भरा हुआ है जो लगातार परिणामों के लिए महत्वपूर्ण हैं: उन्नत रासायनिक प्रबंधन (सीसीएसएस/एलसीएसएस समर्थन के साथ), खुराक, तापमान और प्रवाह दर के लिए स्वचालित प्रक्रिया नियंत्रण, और उद्योग मानक एसईसीएस/जीईएम संचार। लेकिन हम प्रदर्शन पर ही नहीं रुके, सुरक्षा और दक्षता भी सर्वोच्च प्राथमिकता थी। आपको मानसिक शांति के लिए रिसाव का पता लगाने और ज़्यादा गरम होने से सुरक्षा मिलेगी, साथ ही संचालन को सुचारू रूप से चलाने के लिए रासायनिक पुनर्ग्रहण और अपशिष्ट वर्गीकरण क्षमताएं भी मिलेंगी। चाहे आप नक़्क़ाशी कर रहे हों, सफ़ाई कर रहे हों, या धो रहे हों, यह प्रणाली बिना किसी अनुमान के दोहराए जा सकने वाले परिणाम देती है जिस पर आप भरोसा कर सकते हैं।
लाभ
प्रारूप और हैंडलिंग लचीलापन
- 12-इंच मॉडल:कैसेट कम डिज़ाइन (उच्च शुद्धता 300 मिमी वेफर्स के लिए संदूषण जोखिम कम करता है)।
- 8-इंच मॉडल:दोहरी कैसेटरहित/कैसेट-प्रकार की हैंडलिंग + एसएमआईएफ पीओडी/एफओयूपी संगतता (विरासत/आधुनिक 200 मिमी वर्कफ़्लो के अनुकूल)।
परिशुद्धता प्रक्रिया नियंत्रण
- मानकीकृत विशेषताएं:ऑटो डोज़िंग, ब्लीड एंड फीड, और तापमान, एकाग्रता, प्रवाह दर और दबाव का वास्तविक {{0}समय विनियमन (बैच {{1} से - बैच एकरूपता सुनिश्चित करता है)।
- उन्नत सुखाने:मारांगोनी/एलपीडी सुखाने (संवेदनशील वेफर सतहों पर पानी के धब्बे/अवशेषों को रोकता है)।
लागत एवं परिचालन दक्षता
BC3100-एक्सक्लूसिव केमिकल रिक्लेम (रासायनिक खपत और अपशिष्ट को कम करता है)।
बैच ओवरहीटिंग सुरक्षा + लीक सेंसर (डाउनटाइम और सामग्री हानि को कम करता है)।
फ़ैक्टरी एकीकरण एवं अनुपालन
पूर्ण SECS/GEM प्रोटोकॉल समर्थन (स्मार्ट फैब वर्कफ़्लो के लिए MES कनेक्टिविटी सक्षम करता है)।
- 8-इंच मॉडल:अलग जल निकासी (खतरनाक अपशिष्ट वर्गीकरण और नियामक अनुपालन को सरल बनाता है)।
अनुप्रयोग
आईसी विनिर्माण प्रक्रियाएं
- आरसीए सफाई
- पीआर गीली पट्टी
- ढांकता हुआ परत गीला खोदना
- धातु की परत गीली नक़्क़ाशी
सिलिकॉन वेफर प्रसंस्करण
- क्षार नक़्क़ाशी
- सफाई साफ़ करने के बाद पोस्ट करें
- पूर्व-सफाई
- अंतिम कुल्ला
मॉडल-विशिष्ट उपयोग के मामले
{{0}इंच मॉडल: उच्च मात्रा में 300 मिमी उत्पादन के लिए बनाया गया। बड़े तर्क और मेमोरी चिप फैब के बारे में सोचें जो पूरी गति से चल रहे हों।
- 8-इंच मॉडल: 200 मिमी वेफर लाइनों के लिए आदर्श। ऑटोमोटिव सेमीकंडक्टर्स और लीगेसी माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स के लिए बढ़िया -जो आवश्यक प्रणालियों को शक्ति प्रदान करते हैं।
पैरामीटर
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पैरामीटर |
12 इंच का मॉडल |
8-इंच बीसी मॉडल |
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वेफर का आकार |
12-इंच(300मिमी) |
8-इंच(200मिमी) |
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उपकरण प्रकार |
कैसेट-कम |
कैसेट रहित या कैसेट प्रकार |
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वेफर क्षमता/पिच |
N/A |
50 वेफर्स (25 वेफर्स/कैसेट x2)/10 मिमी पिच |
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समर्थित वाहक |
N/A |
एसएमआईएफ पॉड/फूप |
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रासायनिक आपूर्ति सहायता |
सीसीएसएस, एलसीएसएस |
सीसीएसएस, एलसीएसएस |
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सुखाने की तकनीक |
मारांगोनी सूखा या एलपीडी |
मारांगोनी सूखा, एलपीडी सूखा |
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रासायनिक प्रबंधन |
ऑटो डोजिंग, ब्लीड एंड फीड; |
ऑटो डोजिंग, ब्लीड एंड फीड; |
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संरक्षा विशेषताएं |
स्नान अति ताप संरक्षण; रिसाव सेंसर(इकाई-स्तर) |
स्नान अति ताप संरक्षण; रिसाव का पता लगाना; अलग |
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रासायनिक पुनर्प्राप्ति |
का समर्थन किया |
निर्दिष्ट नहीं है |
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संचार प्रोटोकॉल |
पूर्ण SECS/GEM समर्थन |
पूर्ण SECS/GEM समर्थन |
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कैसेट ट्रांसमिशन |
निर्दिष्ट नहीं है |
का समर्थन किया |
अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न
प्रश्न: बीसी सीरीज किस वेफर आकार का समर्थन करती है?
उत्तर: BC3100 12-इंच (300 मिमी) वेफर्स को संभालता है; 8-इंच बीसी मॉडल 8-इंच (200 मिमी) वेफर्स का समर्थन करता है।
प्रश्न: क्या बीसी सीरीज कैसेट के साथ काम कर सकती है?
उ: BC3100 कैसेट कम डिज़ाइन का उपयोग करता है; 8-इंच मॉडल कैसेट रहित और कैसेट-प्रकार दोनों को संभालने का समर्थन करता है।
प्रश्न: यह कौन सी प्रमुख प्रक्रियाएँ निष्पादित करता है?
उत्तर: यह आरसीए सफाई, पीआर पट्टी, ढांकता हुआ/धातु नक़्क़ाशी, और सेमीकंडक्टर/वेफर्स के लिए पॉलिश सफाई को संभालता है।
प्रश्न: क्या यह फ़ैक्टरी एकीकरण का समर्थन करता है?
उत्तर: हां-दोनों मॉडल एमईएस कनेक्टिविटी के लिए एसईसीएस/जीईएम संचार प्रोटोकॉल का पूरी तरह से समर्थन करते हैं।
प्रश्न: इसमें क्या सुरक्षा विशेषताएं हैं?
ए: मानक सुविधाओं में स्नान अति ताप संरक्षण और रिसाव का पता लगाना शामिल है; 8-इंच मॉडल अलग अपशिष्ट जल निकासी जोड़ता है।
लोकप्रिय टैग: बैच वेफर क्लीनर, चीन बैच वेफर क्लीनर निर्माता, आपूर्तिकर्ता

