फोटोरेसिस्ट स्ट्रिपिंग सिस्टम

फोटोरेसिस्ट स्ट्रिपिंग सिस्टम

फोटोरेसिस्ट स्ट्रिपिंग सिस्टम केवल 6-12 इंच के वेफर्स के लिए बनाया गया है - जो सभी प्रकार के क्षेत्रों में धातु उठाने के काम के लिए आदर्श है। यह 3-कक्ष सेटअप (भिगोना, अलग करना, सफाई) के साथ जाने के लिए तैयार है, लेकिन यदि आपको अधिक की आवश्यकता है, तो हम आपके वर्कफ़्लो से मेल खाने के लिए बहु-प्रक्रिया गुहाओं को अनुकूलित कर सकते हैं।
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विवरण

उत्पाद अवलोकन

 

फोटोरेसिस्ट स्ट्रिपिंग सिस्टम केवल 6-12{2}इंच वेफर्स के लिए बनाया गया है, जो सभी प्रकार के क्षेत्रों में मेटल लिफ्ट के लिए आदर्श है। यह 3-कक्ष सेटअप (भिगोना, अलग करना, सफाई) के साथ जाने के लिए तैयार है, लेकिन यदि आपको अधिक की आवश्यकता है, तो हम आपके वर्कफ़्लो से मेल खाने के लिए बहु-प्रक्रिया गुहाओं को अनुकूलित कर सकते हैं।
क्या चीज़ इसे विशिष्ट बनाती है? एनएमपी हीटिंग (कमरे के तापमान से लेकर 90 डिग्री ±2 डिग्री तक) और 30एमपीए उच्च दबाव डीगमिंग- जैसी उपयोगी विशेषताएं, साथ ही यह प्रक्रिया तरल को रिसाइकिल करती है, जो अपशिष्ट को कम करती है। हमने प्रदर्शन या सुरक्षा पर कोई कंजूसी नहीं की: अल्ट्रासोनिक स्ट्रिपिंग तेजी से, पूरी तरह से धातु को हटाने को सुनिश्चित करती है, जबकि अंतर्निहित CO₂ स्वचालित आग बुझाने की प्रणाली संचालन को चिंता मुक्त रखती है।

 

लाभ

व्यापक वेफर और प्रक्रिया अनुकूलता

6-12-इंच वेफर्स का समर्थन करता है; बिजली उपकरणों, फिल्टर, एमईएमएस इत्यादि के लिए लिफ्ट-ऑफ प्रक्रियाओं को अनुकूलित करता है।

कुशल स्ट्रिपिंग प्रदर्शन

धातु को पूरी तरह से हटाने के लिए एनएमपी तापमान नियंत्रण, 30 एमपीए उच्च दबाव डीगमिंग और अल्ट्रासोनिक स्ट्रिपिंग का संयोजन।

लागत एवं सुरक्षा अनुकूलन

प्रक्रिया तरल पुनर्चक्रण (फ़िल्टर किया गया पुन: उपयोग) परिचालन लागत को कम करता है; CO₂ स्वचालित आग बुझाने से सुरक्षित संचालन सुनिश्चित होता है।

लचीला विन्यास

मानक 3-कक्ष सेटअप + वैकल्पिक बहु-प्रक्रिया गुहाएँ, विविध उत्पादन आवश्यकताओं से मेल खाती हैं।

 

अनुप्रयोग

 

मुख्य क्षेत्र:पावर उपकरण, फ़िल्टर, एमईएमएस (माइक्रो-इलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम), और अन्य सेमीकंडक्टर-संबंधित क्षेत्र।

मुख्य प्रक्रिया:उपकरण संरचना निर्माण के लिए धातु लिफ्ट{{0}ऑफ (गीले प्रसंस्करण के माध्यम से विशिष्ट धातु परतों को हटाना)।

 

पैरामीटर

 

विनिर्देश

विवरण

वेफर का आकार

6-12 इंच

मानक विन्यास

3 कक्ष (भिगोना, अलग करना, सफाई)

वैकल्पिक विन्यास

एकाधिक प्रक्रिया गुहाएँ (अनुकूलन योग्य)

एनएमपी ताप पैरामीटर

कमरे का तापमान~90 डिग्री ±2 डिग्री

उच्च-दबाव डीगमिंग

अधिकतम दबाव: 30MPa

महत्वपूर्ण कार्यों

- तरल पुनर्चक्रण की प्रक्रिया (फ़िल्टर किया हुआ पुन: उपयोग)
- अल्ट्रासोनिक स्ट्रिपिंग फ़ंक्शन

सुरक्षा तंत्र

CO2 स्वचालित आग बुझाने की प्रणाली

अनुप्रयोग फ़ील्ड

बिजली उपकरण, फिल्टर, एमईएमएस, आदि।

कोर प्रक्रिया

धातु लिफ्ट-बंद (धातु की परतों को गीला करना)

 

अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न

 

यह उपकरण किस वेफर आकार का समर्थन करता है?

यह 6-12-इंच वेफर्स के साथ संगत है, जो बिजली उपकरणों, एमईएमएस आदि में सामान्य प्रारूपों को कवर करता है।

मानक चैम्बर सेटअप क्या है?

मानक कॉन्फ़िगरेशन में 3 कक्ष शामिल हैं: भिगोना, अलग करना, और सफाई (अनुकूलन योग्य बहु-प्रक्रिया गुहाएं भी समर्थित हैं)।

एनएमपी हीटिंग किस तापमान सीमा का समर्थन करता है?

यह एनएमपी को कमरे के तापमान से 90 डिग्री ± 2 डिग्री तक गर्म कर सकता है, जो अलग-अलग स्ट्रिपिंग प्रक्रिया आवश्यकताओं के अनुकूल होता है।

उच्च दबाव डीगमिंग फ़ंक्शन कितना शक्तिशाली है?

उच्च दबाव डीगमिंग का अधिकतम दबाव 30एमपीए तक पहुंच जाता है, जिससे अवशिष्ट सामग्री को पूरी तरह से हटाया जाना सुनिश्चित होता है।

क्या इसमें लागत बचाने की सुविधाएं हैं?

हाँ-प्रक्रिया तरल को पुन: उपयोग के लिए पुनर्चक्रित और फ़िल्टर किया जा सकता है, जिससे परिचालन लागत कम हो जाती है।

इसमें क्या सुरक्षा उपाय हैं?

प्रसंस्करण के दौरान सुरक्षित संचालन सुनिश्चित करने के लिए यह CO₂ स्वचालित आग बुझाने की प्रणाली से सुसज्जित है।

 

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