दोहरी-चैंबर मैग्नेट्रोन स्पटरिंग प्रणाली

यह दोहरी -चैम्बर मैग्नेट्रोन स्पटरिंग प्रणाली विशेष रूप से इन्फ्रारेड फोकल प्लेन डिवाइस निर्माण के लिए बनाई गई है। इसका मुख्य कार्य HgCdTe एपिटैक्सियल परतों पर ZnS/CdTe मिश्रित निष्क्रियता फिल्मों को जमा करना है, जो उच्च प्रदर्शन वाले इन्फ्रारेड डिटेक्टरों के निर्माण में एक महत्वपूर्ण कदम है।

परिपक्व मैग्नेट्रोन स्पटरिंग को दोहरे -चैंबर संरचना के साथ जोड़कर, सिस्टम उपयोगकर्ताओं को फिल्म विकास मापदंडों को सटीक रूप से नियंत्रित करने देता है। यह विश्वसनीय रूप से एकसमान, सघन निष्क्रियता परतों का उत्पादन करता है, जिससे वास्तविक उत्पादन में इन्फ्रारेड फोकल प्लेन सरणियों के प्रदर्शन और स्थिरता को बेहतर बनाने में मदद मिलती है।

क्लस्टर आर्किटेक्चर क्रॉस -संदूषण को कम करता है

क्लस्टर डिज़ाइन और मल्टी{0}}प्रोसेस लेआउट निष्क्रियता और ऑक्सीकरण प्रक्रियाओं को अलग रखने में मदद करता है, जो क्रॉस{1}संदूषण को कम करता है और फिल्म की गुणवत्ता को सुसंगत रखता है।

कम -तापमान वाला सब्सट्रेट HgCdTe सामग्रियों की सुरक्षा करता है

निचले सब्सट्रेट तापमान पर चलने से जमाव के दौरान एचजी परमाणुओं को बाहर निकलने से रोकने में मदद मिलती है। यह HgCdTe एपिटैक्सियल परतों के मूल भौतिक गुणों को संरक्षित करता है, जो अंतिम डिवाइस प्रदर्शन के लिए महत्वपूर्ण है।

नीचे से ऊपर की ओर स्पटरिंग से कण दोष कम हो जाते हैं

नीचे से ऊपर स्पटरिंग दृष्टिकोण का उपयोग करने से वेफर सतह पर धूल और कणों का जमाव कम हो जाता है। इससे फ़िल्में साफ़ होती हैं और दोष कम होते हैं, जिसके परिणामस्वरूप समग्र उपज में सुधार होता है।

सटीक तापमान नियंत्रण स्थिर प्रसंस्करण का समर्थन करता है

तापमान को 0 डिग्री से 140 डिग्री की सीमा में ±0.5 डिग्री के भीतर नियंत्रित किया जाता है, और सिस्टम 4-8 इंच वेफर्स के साथ काम करता है। नियंत्रण का यह स्तर पूरे वेफर में एक समान फिल्म वृद्धि और बैच से बैच तक दोहराए जाने योग्य परिणामों को सुनिश्चित करने में मदद करता है।

इस प्रणाली का उपयोग मुख्य रूप से अनुसंधान एवं विकास और इन्फ्रारेड फोकल प्लेन उपकरणों के बड़े पैमाने पर उत्पादन में किया जाता है, जिसका मुख्य फोकस HgCdTe वेफर्स पर ZnS/CdTe समग्र निष्क्रियता फिल्मों को जमा करने पर है।

यह उच्च संवेदनशीलता वाले इन्फ्रारेड डिटेक्टर आपूर्ति श्रृंखला में उपकरण का एक महत्वपूर्ण हिस्सा है, जिसका व्यापक रूप से एयरोस्पेस, सैन्य टोही, औद्योगिक थर्मल इमेजिंग और इन्फ्रारेड इमेजिंग डिवाइस निर्माण के लिए वैज्ञानिक अनुसंधान में उपयोग किया जाता है।

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