उत्पाद अवलोकन
हमारी कंपनी के तीन मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग उपकरण, जो पीवीडी तकनीक पर आधारित हैं, सभी उच्च गुणवत्ता वाली धातु, ढांकता हुआ और अर्धचालक फिल्में जमा करते हैं, लेकिन अनुप्रयोग फोकस में भिन्न होते हैं।
औद्योगिक एकल कक्ष मॉडल को लें: इसे बड़े पैमाने पर उत्पादन के लिए इंजीनियर किया गया है, असाधारण लक्ष्य उपयोग के साथ जो लागत को नियंत्रण में रखता है। यह 8-इंच वेफर्स को निर्बाध रूप से संभालता है, जो लगातार औद्योगिक विनिर्माण मांगों को पूरा करता है।
इसके बाद औद्योगिक बहु-चैंबर संस्करण है, जो संपूर्ण कोटिंग प्रक्रिया को स्वचालित करने के लिए मॉड्यूलर, स्वतंत्र कक्षों (हीटिंग, स्पटरिंग और बहुत कुछ) का उपयोग करता है।
यह एक गेम-चेंजर है, जो मैन्युअल हस्तक्षेप को कम करते हुए, जटिल मल्टी-लेयर फिल्मों का निर्माण करता है। दूसरी ओर, अनुसंधान - ग्रेड मशीन, विशेष रूप से विश्वविद्यालयों और अनुसंधान संस्थानों के लिए डिज़ाइन की गई है। यह छोटे {{9} बैच आर एंड डी कार्य को समायोजित करने के लिए मल्टी {{7}टारगेट स्पटरिंग {{8}जैसे लचीले सेटअप प्रदान करता है, चाहे वह सिलिकॉन कार्बाइड सामग्री या क्वांटम चिप प्रोटोटाइप के लिए हो। इन तीनों में, हम अपनी "शिल्प कौशल गुणवत्ता" प्रतिबद्धता पर कायम हैं, यह सुनिश्चित करते हुए कि वे सेमीकंडक्टर उद्योग की विभिन्न आवश्यकताओं को पूरा करते हैं।
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अनुप्रयोग
हमारी कंपनी के तीन मैग्नेट्रोन स्पटरिंग उपकरण में से प्रत्येक का अपना विशिष्ट स्थान है, जो सेमीकंडक्टर उद्योग में हर जरूरत को पूरा करता है।
औद्योगिक एकल कक्ष मॉडल को लें: यह एकीकृत सर्किट जैसे बड़े पैमाने पर विनिर्माण के बारे में है। 8-इंच वेफर पतली-फिल्म तैयारी के लिए, यह तेज़ और स्थिर है, सीधे सीएमओएस/आईजीबीटी उत्पादन लाइनों में फिट बैठता है, और बिना किसी रोक-टोक के क्षमता और उपज लक्ष्य दोनों को पूरा करता है।
औद्योगिक बहु-चैंबर एक पूर्ण स्वचालन और ठोस एकीकरण के साथ खड़ा है। 5G और ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरणों के लिए वे पेचीदा जटिल बहु-परत फिल्में? यह बड़े पैमाने पर उत्पादन की कड़ी परिशुद्धता मांगों को पूरा करते हुए, उन्हें आसानी से संभालता है।
फिर अनुसंधान {{0}ग्रेड मॉडल{{1}यह विश्वविद्यालय अनुसंधान एवं विकास के लिए तैयार किया गया है। यह सिलिकॉन कार्बाइड जैसी नई सामग्रियों पर छोटे बैच परीक्षणों का समर्थन करता है, और एक सुपर लचीले सत्यापन मंच के रूप में कार्य करता है।
लाभ
हमारे तीन मैग्नेट्रोन स्पटरिंग उपकरण प्रत्येक अलग-अलग अनुप्रयोग परिदृश्यों के लिए तैयार की गई तालिका में लक्षित ताकत लाते हैं:
1. औद्योगिक एकल-चैंबर मॉडल:
यह उच्च लक्ष्य उपयोग के साथ बड़ा स्कोर करता है, जिससे परिचालन लागत में सीधे कमी आती है। 8-इंच वेफर्स को संसाधित करते समय, यह रॉक-सॉलिड प्रदर्शन प्रदान करता है; फिल्म की एकरूपता ±3% के भीतर रहती है, जो आसानी से औद्योगिक उपज आवश्यकताओं को पूरा करती है। साथ ही, इसकी सीधी संरचना रखरखाव को आसान बनाती है।
2. औद्योगिक बहु-चैंबर मॉडल:
मॉड्यूलर स्वचालित कक्ष इसकी सफलता हैं, जो उत्पादन क्षमता को महत्वपूर्ण रूप से बढ़ाते हैं। इसमें उन्नत कण नियंत्रण की सुविधा भी है, जो 5G और ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरणों में उपयोग की जाने वाली बहु-परत वाली फिल्मों को तैयार करने के लिए शीर्ष स्तर की फिल्म की शुद्धता सुनिश्चित करती है। इसके अलावा, इसकी मजबूत एकीकरण क्षमता इसे सामग्रियों की एक विस्तृत श्रृंखला को सहजता से अनुकूलित करने देती है।
3. अनुसंधान-ग्रेड मॉडल:
अनुसंधान एवं विकास को ध्यान में रखकर डिज़ाइन किया गया, यह नई सामग्री विकास आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए बहु-{0}}लक्ष्य स्पटरिंग जैसे लचीले सेटअप प्रदान करता है। माइक्रोमीटर स्तर की परिशुद्धता प्रक्रिया सत्यापन के लिए विश्वसनीय समर्थन प्रदान करती है, और इसका छोटा बैच प्रोसेसिंग डिज़ाइन अनुसंधान एवं विकास परीक्षण खर्चों को कम करने में मदद करता है, जो प्रयोगशाला अन्वेषण के लिए आदर्श है।
पैरामीटर
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वस्तु |
औद्योगिक एकल-चैंबर मॉडल |
औद्योगिक बहु-चैंबर मॉडल |
अनुसंधान-ग्रेड मॉडल |
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लागू वेफर आकार |
8 इंच और नीचे |
6 इंच/ 8 इंच |
8 इंच और नीचे |
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परम निर्वात |
8x10-5 पा |
2x10-5 पा |
- |
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फिल्म एकरूपता |
±3% से कम या उसके बराबर |
±3% से कम या उसके बराबर |
±3%(4-इंच लक्ष्य, 8-इंच वेफर) |
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सब्सट्रेट स्टेज तापमान नियंत्रण |
RT-650 डिग्री (या शीतलन) |
- |
आरटी-600 डिग्री (हीटिंग या कूलिंग) |
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सब्सट्रेट स्टेज रोटेशन स्पीड |
- |
- |
5-20 आरपीएम |
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स्पटरिंग विधि |
एकल-लक्ष्य स्पटरिंग |
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एकल-लक्ष्य/बहु-लक्ष्य अनुक्रमिक/सह{{2}स्पटरिंग |
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बिजली की आपूर्ति |
वैकल्पिक डीसी/आरएफ/एमएफ |
- |
वैकल्पिक डीसी/आरएफ/एमएफ |
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मुख्य विन्यास |
एकल प्रक्रिया कक्ष; 4 लक्ष्य बंदूकों से कम या बराबर |
5 प्रक्रिया कक्षों से कम या उसके बराबर (हीटिंग, कूलिंग, स्पटरिंग, आदि) |
बहु-लक्ष्य स्पटरिंग: प्री-वैक्यूम चैम्बर(वैकल्पिक); |
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लागू सामग्री |
सिलिकॉन, यौगिक, चीनी मिट्टी, आदि। |
सिलिकॉन, यौगिक, आदि। |
धातु (Al,Au,Cu), डाइलेक्ट्रिक्स (SiO2,TaN), अर्धचालक |
अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न
तीन मॉडलों में से कैसे चुनें?
8-इंच वेफर्स (उदाहरण के लिए, सीएमओएस/आईजीबीटी) के बड़े पैमाने पर उत्पादन के लिए, औद्योगिक सिंगल-कैविटी मॉडल चुनें; 5जी/ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक्स में जटिल मल्टीलेयर फिल्मों के लिए, औद्योगिक मल्टी-कैविटी मॉडल चुनें; विश्वविद्यालयों में नई सामग्रियों (उदाहरण के लिए, सिलिकॉन कार्बाइड) के अनुसंधान और विकास के लिए अनुसंधान मॉडल चुनें।
क्या यह गैर {{0}सिलिकॉन- आधारित सामग्री कोटिंग का समर्थन करता है?
हाँ, यह सभी का समर्थन करता है, जिसमें सिरेमिक, मिश्रित अर्धचालक, धातु (Al/Au), डाइलेक्ट्रिक्स (SiO₂), आदि शामिल हैं।
क्या वेफर का आकार बढ़ाया जा सकता है?
डिफ़ॉल्ट 8 इंच और उससे कम है (मल्टी-कैविटी मॉडल के लिए 6-8 इंच)। छोटे पैमाने के विस्तार को पहले से अनुकूलित किया जा सकता है, लेकिन प्रक्रिया व्यवहार्यता का आकलन करने की आवश्यकता है।
±3% से कम या उसके बराबर फिल्म की मोटाई एकरूपता के लिए परीक्षण की शर्तें क्या हैं?
8-इंच वेफर्स (अनुसंधान मॉडल के लिए 4-इंच लक्ष्य + 8-इंच वेफर) पर आधारित, मानक धातु/ढांकता हुआ फिल्म परत परीक्षण। विभिन्न सामग्रियों/फिल्म मोटाई के लिए अनुकूलन संभव है।
क्या इंस्टालेशन प्रशिक्षण प्रदान किया जाता है?
यह सुनिश्चित करने के लिए कि टीम जल्दी से काम शुरू कर सके, हम साइट पर इंस्टॉलेशन और कमीशनिंग के साथ-साथ संचालन/रखरखाव प्रशिक्षण भी प्रदान करते हैं।
क्या उपकरण को बाद में अपग्रेड किया जा सकता है?
बहु{{0}गुहा और अनुसंधान मॉडल को लक्ष्य गन/प्री-वैक्यूम कक्षों के साथ उन्नत किया जा सकता है; सिंगल{2}कैविटी मॉडल में सीमित अपग्रेड क्षमता होती है, इसलिए हम शुरुआत से ही दीर्घकालिक जरूरतों को स्पष्ट रूप से परिभाषित करने की सलाह देते हैं।
डिलीवरी चक्र कितना लंबा है? क्या इसमें तेजी लाई जा सकती है?
एकल-गुहा/अनुसंधान मॉडल: 8-12 सप्ताह; बहु-गुहा मॉडल: 12-16 सप्ताह; शीघ्र वितरण परक्राम्य है और उत्पादन लाइन शेड्यूलिंग पर निर्भर करता है।
क्या उत्पादन के बाद रखरखाव की लागत पर कोई छूट है?
मुख्य रूप से लक्ष्य सामग्री और उपभोग्य सामग्रियों के लिए। वारंटी अवधि के बाद 5 वर्षों के लिए उपभोग्य सामग्रियों पर 10% से अधिक या उसके बराबर की छूट दी जाती है। हम लागत कम करने के लिए रखरखाव मार्गदर्शन भी प्रदान करते हैं।
लोकप्रिय टैग: मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग उपकरण, चीन मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग उपकरण निर्माता, आपूर्तिकर्ता

