टीसी वेफर

टीसी वेफर एक तापमान माप उपकरण है जिसका उपयोग सेमीकंडक्टर निर्माण में किया जाता है। यह वास्तविक समय में वेफर पर विशिष्ट स्थानों का तापमान, साथ ही समग्र तापमान वितरण प्राप्त कर सकता है। यह हीटिंग और कूलिंग प्रक्रियाओं के दौरान क्षणिक तापमान परिवर्तन की भी निगरानी कर सकता है।

तीन मॉडल उपलब्ध हैं, जिनमें मुख्य अंतर वेफर आकार और परीक्षण बिंदुओं की संख्या है: TCW-6-5 (6-इंच, 5 परीक्षण बिंदु), TCS-8-5 (8-इंच, 5 परीक्षण बिंदु), और TCSW-8-9 (8-इंच, 9 परीक्षण बिंदु)। सभी मॉडलों में कमरे के तापमान की तापमान सीमा 1200 डिग्री और सटीकता ±1.1 डिग्री /±0.4% है।

वे सेमीकंडक्टर वेफर फैब, पैकेजिंग और परीक्षण संयंत्रों और सेमीकंडक्टर उपकरण निर्माताओं के लिए उपयुक्त हैं। वे भट्ठी ट्यूब, पीवीडी और सीवीडी जैसे उच्च तापमान प्रक्रिया उपकरण के गुहा तापमान की निगरानी कर सकते हैं।

इसमें उच्च परिशुद्धता माप, कमरे के तापमान/वैक्यूम वातावरण में उपयोग के लिए समर्थन, तापमान क्षेत्रों और हीटिंग वक्रों का वास्तविक समय पर प्रदर्शन और माप डेटा की स्वचालित बचत की सुविधा है।