न्यूनतम सुविधा आकार
न्यूनतम क्रांतिक आयाम (सीडी):
न्यूनतम फीचर आकार, जिसे आधा पिच आकार भी कहा जाता है, लिथोग्राफी मशीनों के प्रदर्शन को मापने के लिए सबसे महत्वपूर्ण मापदंडों में से एक है।
उनमें से, एक स्थिरांक है जो विभिन्न लिथोग्राफी योजनाओं में भिन्न होता है, जहां λ इनपुट प्रकाश स्रोत की तरंग दैर्ध्य है और NA लिथोग्राफी मशीन ऑप्टिकल सिस्टम का संख्यात्मक एपर्चर है। स्थिरांक के लिए, वर्तमान में नीदरलैंड में ASML की DUV लिथोग्राफी मशीन अधिकतम 0.25 के आसपास प्राप्त कर सकती है, जबकि EUV अभी भी 0.35 के आसपास है। इनपुट प्रकाश स्रोत की तरंग दैर्ध्य जितनी छोटी होगी, वास्तविक फोटोलिथोग्राफी प्रक्रिया उतनी ही छोटी होगी। संख्यात्मक एपर्चर NA के लिए, इस मान की ऊपरी सीमा आम तौर पर गैर-गीला DUV योजनाओं के लिए 1.0 और गीला DUV योजनाओं के लिए लगभग 1.35 है। गैर विसर्जन लिथोग्राफी की तुलना में, विसर्जन लिथोग्राफी मशीनें लिथोग्राफी के दौरान अपवर्तन के लिए अतिरिक्त तरल का उपयोग करती हैं, आमतौर पर लगभग 1.33 के अपवर्तक सूचकांक के साथ शुद्ध पानी। यही कारण है कि विसर्जन लिथोग्राफी मशीनों का NA बड़ा होता है।
उत्कीर्णन सटीकता
ओवरले सटीकता: मास्क और वेफर पैटर्न के बीच संरेखण सटीकता।
मूल अर्थ दो फोटोलिथोग्राफी प्रक्रियाओं के बीच पैटर्न की संरेखण सटीकता को संदर्भित करता है। यदि संरेखण विचलन बहुत बड़ा है, तो यह सीधे उत्पाद की उपज को प्रभावित करेगा।
एक्सपोज़र सहनशीलता
एक्सपोज़र अक्षांश: एक्सपोज़र अक्षांश, जिसे एक्सपोज़र मार्जिन भी कहा जाता है, प्रक्रिया विंडो के महत्वपूर्ण मापदंडों में से एक है। ऑप्टिकल एक्सपोज़र सिस्टम एक एक्सपोज़र एनर्जी रेंज बना सकते हैं जो डिज़ाइन लेआउट आवश्यकताओं को पूरा करती है। इसे आमतौर पर एक्सपोज़र परिणाम द्वारा पता लगाए गए सीडी मान में परिवर्तन के ± 10% के भीतर एक्सपोज़र ऊर्जा चयन सीमा द्वारा परिभाषित किया जाता है। यदि फोटोरेसिस्ट के इष्टतम एक्सपोज़र खुराक से विचलन होने पर एक्सपोज़्ड पैटर्न की लाइन की चौड़ाई अपेक्षाकृत कम बदलती है, तो यह इंगित करता है कि फोटोरेसिस्ट में बड़ी एक्सपोज़र सहनशीलता है। एक्सपोज़र सहनशीलता जितनी अधिक होगी, विकास सहनशीलता उतनी ही अधिक होगी।
एक्सपोज़र टॉलरेंस और प्रक्षेपण छवि कंट्रास्ट निकट से संबंधित हैं। यदि प्रक्षेपित छवि के फीचर आकार में खराब छवि कंट्रास्ट है, तो यह खुराक परिवर्तन के प्रति बहुत संवेदनशील होगा
