6‑इंच स्पिन‑कोटर और डेवलपर

ए: एससीडी6 को पावर डिवाइस और एलईडी बड़े पैमाने पर उत्पादन के लिए अनुकूलित किया गया है, जो जी लाइन / आई लाइन प्रक्रियाओं के साथ विविध यौगिक अर्धचालक सब्सट्रेट्स (नीलम, जीएएन, सीआईसी इत्यादि) का समर्थन करता है। SCD6S PI प्रक्रिया क्षमता और ग्लास सब्सट्रेट अनुकूलता जोड़ता है, जो MEMS, RF IC, ऑप्टिकल संचार और प्रयोगशाला R&D परिदृश्यों के लिए अधिक उपयुक्त है। चैम्बर विन्यास और भौतिक आयाम भी भिन्न हैं।

उत्तर: हाँ. दोनों मॉडल स्पेयर पार्ट्स को बदले बिना, उत्पाद स्विच समय को छोटा किए बिना दोहरे आकार की अनुकूलता का समर्थन करते हैं।

ए: फोटोरेसिस्ट और डेवलपर तापमान नियंत्रण मॉड्यूल, एचएमडीएस प्राइमिंग मॉड्यूल एससीडी6 और एससीडी6एस दोनों के लिए उपलब्ध हैं।

उत्तर: हाँ. प्रक्रिया मापदंडों और उपकरण दोष रिकॉर्ड को गुणवत्ता ट्रेस बैक और प्रक्रिया डिबगिंग के लिए दीर्घकालिक रूप से सहेजा जा सकता है।

उत्तर: दोनों छोटे बैच के बड़े पैमाने पर उत्पादन के साथ-साथ प्रयोगशाला अनुसंधान एवं विकास का समर्थन करते हैं। SCD6 पावर/एलईडी वॉल्यूम निर्माण की ओर अधिक उन्मुख है; SCD6S पायलट उत्पादन और अनुसंधान परियोजनाओं के लिए उपयुक्त है।