क्या आप अपनी प्रयोगशाला या छोटे उत्पादन स्थान पर भारी उपकरणों के कब्ज़ा करने से थक गए हैं? आरटीपी - 100 डेस्कटॉप आरटीपी सिस्टम छोटे वेफर्स (अधिकतम 6 इंच) के लिए बनाया गया है {{4} उन टीमों के लिए बिल्कुल उपयुक्त है जिन्हें वर्ग फुटेज का त्याग किए बिना सटीकता की आवश्यकता होती है। यह सीधा, विश्वसनीय और शोधकर्ताओं और छोटे-बैच निर्माताओं की रोजमर्रा की जरूरतों के अनुरूप है।
हम इसके बारे में क्या पसंद करते हैं
एक दस्ताने की तरह फिट बैठता है: 910 मिमी×860 मिमी×695 मिमी (डब्ल्यू×डी×एच) पर, यह तंग कोनों या भीड़ भरे कार्यक्षेत्रों में फिसल जाता है। केवल थर्मल प्रसंस्करण क्षमता जोड़ने के लिए अपने पूरे सेटअप को पुनर्व्यवस्थित करने की आवश्यकता नहीं है।
तापमान नियंत्रण जिस पर आप भरोसा कर सकते हैं: गर्मी को नियंत्रित करने के दो तरीके -800 डिग्री तक के कमरे के तापमान के लिए थर्मोकपल और 500 डिग्री से 1200 डिग्री के लिए इन्फ्रारेड पाइरोमीटर। वेफर्स को 150 डिग्री/सेकेंड तक गर्म करता है (SiC या ग्रेफाइट वाहकों की तुलना में बहुत तेज, जो 20-30 डिग्री/सेकंड पर कैप होता है)। और निरंतरता? 600 डिग्री से कम ±3 डिग्री से कम या उसके बराबर, उससे ऊपर ±0.5% से कम या उसके बराबर, प्लस ±1 डिग्री दोहराव-ताकि आपके परिणाम बैच दर बैच अलग-अलग न हों।
नहीं-फ़स ऑपरेशन: मैन्युअल लोडिंग/अनलोडिंग से चीजें सरल रहती हैं (यदि आप हाथों को नियंत्रण में रखना चाहते हैं तो बढ़िया है), जबकि बजर और चेतावनी लाइटें आपको बताती हैं कि कुछ बंद है या नहीं। पीसी नियंत्रण मापदंडों में बदलाव को आसान बनाता है, साथ ही किसी जटिल प्रशिक्षण की भी आवश्यकता नहीं होती है।
बुनियादी बातों को शामिल करता है (और फिर कुछ): 30 mTorr तक वैक्यूम को संभालता है, ऑक्सीजन को 3ppm के नीचे रखता है, और 4 MFC चैनलों को सपोर्ट करता है। चाहे आप आयन इम्प्लांटेशन एनीलिंग, ऑक्साइड वृद्धि, या छोटे नमूना ताप उपचार कर रहे हों, यह बुनियादी तीव्र थर्मल प्रसंस्करण के लिए सभी बक्सों की जाँच करता है।
यह किसके लिए है
यह बड़े पैमाने की फ़ैक्टरियों के लिए नहीं है-यह दैनिक प्रयोग करने वाले लैब तकनीशियन, कस्टम घटकों का निर्माण करने वाले छोटे निर्माता, या नई सामग्रियों का परीक्षण करने वाली अनुसंधान टीम के लिए है। यदि आप छोटे वेफर्स के साथ काम करते हैं और औद्योगिक आकार के गियर की परेशानी के बिना लगातार परिणाम चाहते हैं, तो यह आपके लिए है।
इसका सही उपयोग करने के लिए त्वरित युक्तियाँ
तापमान मोड स्विच करना: 800 डिग्री तक के तापमान के लिए थर्मोकपल का उपयोग करें, और इससे अधिक गर्म तापमान के लिए पीसी सॉफ्टवेयर में इन्फ्रारेड पर फ्लिप करें। सिस्टम स्वयं को स्वचालित रूप से कैलिब्रेट करता है {{2}अच्छा स्पर्श।
वेफर्स लोड हो रहा है: साफ दस्तानों को न छोड़ें! उंगलियों के निशान या धूल से परिणाम खराब हो जाते हैं। धीरे से संभालें, गिरे नहीं, और सुनिश्चित करें कि यह वाहक पर केंद्रित हो {{1}सरल कदम जो बाद में सिरदर्द से बचाते हैं।
सामान्य सुधार: यदि स्टार्टअप पर बजर बजता है, तो पहले जांच लें कि कैविटी का दरवाज़ा कसकर बंद है या नहीं (हम सब यह भूल गए हैं!)। यदि हीटिंग दर 150 डिग्री/सेकेंड तक नहीं पहुंच रही है, तो सुनिश्चित करें कि आप किसी ऐसे वाहक का उपयोग नहीं कर रहे हैं जो इसे धीमा कर देता है। और यदि आपके वेफर्स अप्रत्याशित रूप से ऑक्सीकरण कर रहे हैं, तो वैक्यूम (30 mTorr से कम या उसके बराबर होना चाहिए) और ऑक्सीजन स्तर (इसे बनाए रखें) की दोबारा जाँच करें<3 ppm).
रखरखाव जो मायने रखता है: क्वार्ट्ज चैंबर को हर हफ्ते अल्कोहल से पोंछें। गंदगी आपकी सोच से कहीं ज्यादा तेजी से जमा होती है। हर 3 महीने में लैंप की जांच करें (1000 घंटों के बाद बदलें) और दरारों के लिए सीलिंग रिंग की मासिक जांच करें। ओह, और पानी को 70 डिग्री से अधिक ठंडा न होने दें -यह भागों को नुकसान पहुंचाने का एक त्वरित तरीका है।
एक ठोस कार्यकर्ता
SEMI S2 मानकों के अनुसार प्रमाणित, यह चीज़ लंबे समय तक चलने के लिए बनाई गई है। इसमें आकर्षक अतिरिक्त विशेषताएं नहीं हैं जिनका आप कभी उपयोग नहीं करेंगे, लेकिन यह आवश्यक चीज़ों को पूरा करता है: सटीकता, कॉम्पैक्टनेस और उपयोग में आसानी। प्रयोगशालाओं और छोटी टीमों के लिए जिन्हें थर्मल प्रसंस्करण समाधान की आवश्यकता होती है जो दिन-ब-दिन काम करता है, आरटीपी 100 एक आसान उपकरण है। यह सही नहीं है (कुछ भी नहीं है!), लेकिन यह विश्वसनीय है-और जब आप प्रयोगों या उत्पादन को ट्रैक पर रखने की कोशिश कर रहे हों तो यही मायने रखता है।
