तकनीकी सिद्धांत
3डी ऑप्टिकल प्रोफिलोमीटर मुख्य रूप से दो ऑप्टिकल तकनीकों को अपनाता है:
1. श्वेत प्रकाश हस्तक्षेप प्रौद्योगिकी: हस्तक्षेप फ्रिन्ज के चरण परिवर्तनों का विश्लेषण करके और सतह की ऊंचाई के अंतर की गणना करके, इसमें उप नैनोमीटर अनुदैर्ध्य रिज़ॉल्यूशन है।
2. कन्फोकल तकनीक: ऑब्जेक्टिव लेंस के संयुग्म फोकस के सिद्धांत का उपयोग करते हुए, फोकसिंग सटीकता 2nm तक पहुंचती है, जो उच्च ढलान सतहों को मापने के लिए उपयुक्त है।
आवेदन क्षेत्र
1. परिशुद्धता विनिर्माण: सेमीकंडक्टर चिप्स का विफलता विश्लेषण, एमईएमएस उपकरणों का लक्षण वर्णन।
2. सामग्री अनुसंधान: धातुओं/प्लास्टिक के संक्षारण का पता लगाना, ऑप्टिकल फिल्म परावर्तन का माप।
3. औद्योगिक परीक्षण: ऑटोमोटिव घटकों का घिसाव विश्लेषण, एयरोस्पेस घटकों का समतलता मूल्यांकन।
