मैग्नेट्रॉन स्पटरिंग गियर पीवीडी तकनीक की रीढ़ है। हमारे तीन मॉडलों में शीर्ष पायदान धातु, ढांकता हुआ और अर्धचालक फिल्में शामिल हैं, लेकिन वे अलग-अलग कार्यों के लिए बनाए गए हैं। यदि आप यह सोच रहे हैं कि इनमें से कौन सा फिट बैठता है, तो यह मार्गदर्शिका इसे आसानी से विभाजित कर देती है, यह इस बात पर आधारित है कि उनका उपयोग कौन कर रहा है और उनका उपयोग किस लिए किया जा रहा है।
प्रत्येक मॉडल किसके लिए है?
औद्योगिक एकल-चैंबर मॉडल: सीएमओएस/आईजीबीटी और अन्य एकीकृत सर्किट बनाने वाले बड़े अर्धचालक निर्माताओं के लिए बनाया गया। इन टीमों को स्थिर आउटपुट, कम परिचालन लागत और ऐसे गियर की आवश्यकता होती है, जिन्हें बनाए रखना आसान हो, कुछ ऐसा हो जो बिना किसी परेशानी के सीधे उनकी बड़े पैमाने पर उत्पादन लाइनों में चला जाए।
औद्योगिक बहु-चैंबर मॉडल: 5G या ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक्स पर ध्यान केंद्रित करने वाले उच्च-स्तरीय इलेक्ट्रॉनिक उपकरण निर्माताओं के लिए आदर्श। वे बड़े पैमाने पर जटिल बहुपरतीय फिल्मों से निपट रहे हैं, इसलिए स्वचालन, परिशुद्धता और स्वच्छ प्रसंस्करण (मैन्युअल चरणों से कोई संदूषण नहीं) पर समझौता नहीं किया जा सकता है।
अनुसंधान-ग्रेड मॉडल: विश्वविद्यालयों, प्रयोगशालाओं और नई सामग्री स्टार्टअप के लिए बिल्कुल सही। यहां लोग छोटे बैचों का परीक्षण कर रहे हैं {{1}सिलिकॉन कार्बाइड या क्वांटम चिप प्रोटोटाइप के बारे में सोचें{{2}इसलिए उन्हें सेटअप में बदलाव करने और अनुसंधान एवं विकास लागत को नियंत्रण में रखने के लिए लचीलेपन की आवश्यकता है।
इसे किसके लिए प्रयोग किया जाता है?
औद्योगिक एकल-चैंबर मॉडल: बड़े पैमाने पर चमकता हुआ {{0}8{5}इंच (या उससे छोटे) वेफर्स पर मानक फिल्मों का निर्माण करता है। यह तेज़, सुसंगत है (फिल्म की एकरूपता ±3% से कम रहती है), और लागत में कटौती के लिए लक्ष्यों का कुशलतापूर्वक उपयोग करता है। सिलिकॉन, यौगिकों, सिरेमिक-औद्योगिक उत्पादन के सभी प्रमुख तत्वों के साथ बढ़िया काम करता है।
औद्योगिक बहु-चैंबर मॉडल: कठिन चीजों को संभालता है: 5G और ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरणों के लिए जटिल मल्टी{1}}लेयर फिल्मों का बड़े पैमाने पर उत्पादन। इसके मॉड्यूलर, स्वचालित कक्ष दक्षता बढ़ाते हैं, जबकि उन्नत कण नियंत्रण फिल्मों को अति शुद्ध रखता है। 6-8 इंच वेफर्स में फिट बैठता है और सिलिकॉन, यौगिकों और बहुत कुछ के साथ अच्छा खेलता है।
अनुसंधान-ग्रेड मॉडल: अनुसंधान एवं विकास के लिए एक खेल का मैदान। धातुओं (अल, एयू, सीयू), डाइलेक्ट्रिक्स (SiO₂, TaN), और अर्धचालकों के परीक्षण के लिए एकल {{1}लक्ष्य, बहु-{2}लक्ष्य अनुक्रमिक, या सह-{3}}स्पटरिंग{{4}का समर्थन करता है। इसमें सटीक तापमान नियंत्रण (आरटी - 600 डिग्री, हीटिंग/कूलिंग) और ट्रायल रन को बचाने के लिए छोटे - बैच प्रोसेसिंग के साथ-साथ प्री-वैक्यूम चैंबर जैसे वैकल्पिक अतिरिक्त सुविधाएं हैं।
त्वरित चयन: 3 सरल चरण
अपने मुख्य लक्ष्य से शुरुआत करें: बड़े पैमाने पर उत्पादन? औद्योगिक जाओ. अनुसंधान एवं विकास? अनुसंधान मॉडल को पकड़ो.
इसे संक्षिप्त करें: मानक फिल्में/8-इंच वेफर बड़े पैमाने पर उत्पादन → एकल-चैंबर। जटिल बहु-परत फिल्में → बहु-चैंबर। लचीला छोटा -बैच परीक्षण → अनुसंधान-ग्रेड।
मुख्य विवरणों की दोबारा जांच करें: वेफर आकार (एकल/अनुसंधान के लिए अधिकतम 8{3}}इंच, बहु(5%)कक्ष के लिए 6{4}}8 इंच), सामग्री संगतता (सभी सिरेमिक या धातुओं जैसे गैर-{6}}सिलिकॉन सामान का समर्थन करते हैं), और उन्नयन (बहु{7}}चैंबर/अनुसंधान मॉडल लक्ष्य बंदूकें जोड़ सकते हैं-एकल-कक्ष नहीं, इसलिए आगे की योजना बनाएं)।
