उत्पाद अवलोकन
हमारी कंपनी की ऊर्ध्वाधर और क्षैतिज ट्यूब थर्मल भट्टियां दोनों उच्च {{0}सटीक तापमान नियंत्रण पर केंद्रित हैं {{1}वे ऑक्सीकरण, प्रसार और एनीलिंग जैसे सभी प्रमुख अर्धचालक ताप उपचारों को संभालती हैं {{2}चाहे यह बड़े पैमाने पर उत्पादन या प्रयोगशाला अनुसंधान एवं विकास के लिए हो। उनके बीच वास्तविक अंतर संरचना और वे विशिष्ट उपयोगों में कैसे फिट होते हैं, इस पर निर्भर करता है:
ऊर्ध्वाधर ट्यूब थर्मल भट्ठी
वर्टिकल ट्यूब फर्नेस जगह बचाता है, 8-इंच वेफर्स (12-इंच औद्योगिक विकल्प उपलब्ध) से कम या उसके बराबर फिट बैठता है। मुख्य विशिष्टताएँ: 850 मिमी अधिकतम स्थिर तापमान क्षेत्र, ±0.5 डिग्री नियंत्रण सटीकता।
औद्योगिक मॉडल: नॉनस्टॉप बैच प्रोसेसिंग के माध्यम से आईसी/आईजीबीटी बड़े पैमाने पर उत्पादन को बढ़ावा देता है। अनुसंधान मॉडल: छोटे {{2}बैच सत्यापन के लिए SiC/क्वांटम चिप माध्यम {{1} कम तापमान की आवश्यकता को पूरा करता है।
क्षैतिज ट्यूब थर्मल भट्ठी
क्षैतिज ट्यूब फर्नेस डिजाइन, लचीला 1-4 ट्यूब विन्यास; 300-1000 मिमी अनुकूलन योग्य स्थिर तापमान क्षेत्र, 400 डिग्री -1200 डिग्री रेंज।
औद्योगिक मॉडल: वेफर डोपिंग/संरचनात्मक निर्माण के लिए बहु-प्रक्रिया एकीकरण। अनुसंधान मॉडल: शिक्षण और विकास का मिश्रण, विश्वविद्यालय के छोटे -बैच प्रयोगों के लिए आदर्श।
दोनों स्वच्छ कक्षों और स्थिर तापमान नियंत्रण का उपयोग करते हैं, जो अनुसंधान एवं विकास से लेकर बड़े पैमाने पर उत्पादन तक अर्धचालक थर्मल आवश्यकताओं को कवर करते हैं।
अनुप्रयोग
- विश्वविद्यालयों/अनुसंधान संस्थानों के लिए: SiC, क्वांटम चिप्स आदि के छोटे {{1}बैच R&D का समर्थन करता है, नई सामग्री प्रक्रिया सत्यापन और प्रदर्शन परीक्षण में सहायता करता है।
- माइक्रो{{1}नैनो प्रसंस्करण: प्रसार, ऑक्सीकरण, एनीलिंग, एलपीसीवीडी को संभालता है -ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक/फोटोनिक डिवाइस अनुसंधान के लिए एक लचीले मंच के रूप में कार्य करता है।
- ऑप्टिकल डिवाइस आर एंड डी: एकीकृत ऑप्टिकल वेवगाइड/उच्च {{1}स्पीड फोटोनिक डिवाइस विकास में फिट बैठता है; प्रोटॉन विनिमय में LiNbO₃ ताप उपचार आवश्यकताओं से मेल खाता है।
- विश्वविद्यालय शिक्षण: प्रयोगात्मक शिक्षण/प्रक्रिया विकास में सहायता करता है, सेमीकंडक्टर थर्मल उपकरण में महारत हासिल करने और सिद्धांत को इंजीनियरिंग से जोड़ने में मदद करता है।
लाभ
उच्च परिशुद्धता तापमान नियंत्रण:
±0.5 डिग्री सटीकता; यहां तक कि 1100 डिग्री पर भी, एकल -बिंदु स्थिरता 24 घंटों के लिए ±0.5 डिग्री बनी रहती है, जिससे विश्वसनीय डेटा पुनरावृत्ति सुनिश्चित होती है।
बहु-प्रक्रिया अनुकूलता:
ऊर्ध्वाधर भट्टियाँ प्रसार/ऑक्सीकरण का समर्थन करती हैं; क्षैतिज वाले एनीलिंग और एलपीसीवीडी जोड़ते हैं। दोनों SiC/क्वांटम चिप R&D में फिट हैं।
शोध के अनुकूल अनुकूलता:
8 से कम या उसके बराबर इंच के वेफर्स (1 - 4 ट्यूब वैकल्पिक) के साथ काम करता है। सिंगल-ट्यूब छोटे-बैच डिज़ाइन की लागत में कटौती; प्रयोगों के लिए लंबे समय तक निरंतर चलने का समर्थन करता है।
पैरामीटर
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वस्तु |
वर्टिकल ट्यूब फर्नेस |
क्षैतिज ट्यूब भट्टी |
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तापमान की रेंज |
200 डिग्री -600 डिग्री, 600 डिग्री -1200 डिग्री (दो रेंज वैकल्पिक) |
200 डिग्री -600 डिग्री, 600 डिग्री -1200 डिग्री (दो रेंज वैकल्पिक) |
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तापमान नियंत्रण सटीकता |
±0.5 डिग्री से कम या उसके बराबर |
±0.5 डिग्री से कम या उसके बराबर |
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तापमान एकरूपता |
- |
±1 डिग्री से कम या उसके बराबर |
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एकल-बिंदु तापमान स्थिरता |
लगातार 24 घंटों तक ±0.5 डिग्री @1100 डिग्री से कम या उसके बराबर |
लगातार 24 घंटों तक ±0.5 डिग्री @1100 डिग्री से कम या उसके बराबर |
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अधिकतम ताप दर |
10 डिग्री/मिनट |
10 डिग्री/मिनट |
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स्थिर तापमान क्षेत्र की लंबाई |
200-500 मिमी |
200-500 मिमी |
अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न
ट्यूब थर्मल भट्टी किस वेफर आकार को संभालती है?
ऊर्ध्वाधर और क्षैतिज दोनों मॉडल 8 इंच तक के वेफर्स का समर्थन करते हैं।
वे कौन सी मुख्य प्रक्रियाएँ निष्पादित कर सकते हैं?
वर्टिकल ट्यूब फर्नेस: प्रसार, ऑक्सीकरण और एनीलिंग को कवर करता है।
क्षैतिज ट्यूब फर्नेस: उन बुनियादी बातों के शीर्ष पर एलपीसीवीडी एकीकरण जोड़ता है।
क्या प्रक्रिया ट्यूबों की संख्या को अनुकूलित किया जा सकता है?
बिल्कुल -आप अपनी आवश्यकताओं के आधार पर प्रति यूनिट 1 से 4 ट्यूब चुन सकते हैं।
तापमान नियंत्रण कितना सटीक है?
तापमान नियंत्रण सटीकता ±0.5 डिग्री के भीतर रहती है। 1100 डिग्री पर भी, एक बिंदु लगातार 24 घंटों तक ±0.5 डिग्री के भीतर स्थिरता बनाए रखता है। क्षैतिज भट्टियों के लिए, तापमान एकरूपता ±1 डिग्री के भीतर भी है।
तापन दर और तापमान सीमा के बारे में क्या?
अधिकतम तापन दर 10 डिग्री/मिनट तक पहुंचती है, दो तापमान रेंज उपलब्ध हैं: 200-600 डिग्री और 600-1200 डिग्री।
क्या स्थिर तापमान क्षेत्र की लंबाई समायोज्य है?
यह डिफ़ॉल्ट रूप से 200-500 मिमी तक होता है, और अनुकूलन समर्थित है।
विश्वविद्यालय अनुसंधान प्रयोगशालाओं के लिए कौन सा बेहतर है?
यदि आपको बुनियादी प्रक्रियाओं की आवश्यकता है तो वर्टिकल चुनें, इससे जगह बचती है और लागत प्रभावी होती है। यदि आपको एलपीसीवीडी, शिक्षण सहायता, या प्रयोगशाला कार्य और बड़े पैमाने पर उत्पादन को पाटने की आवश्यकता है, तो क्षैतिज चुनें।
क्या यह लंबे प्रयोग चला सकता है? क्या रखरखाव महंगा है?
यह नॉनस्टॉप लंबी अवधि के ऑपरेशन को सपोर्ट करता है। रखरखाव दुर्लभ है, इसलिए लागत प्रबंधनीय रहती है।
क्या यह पायलट या छोटे -बैच उत्पादन के लिए उपयुक्त है?
हां, {{0}दोनों मॉडल आर एंड डी और छोटे {{1}बैच उत्पादन के बीच आसानी से स्विच करते हैं।
लोकप्रिय टैग: ट्यूब थर्मल फर्नेस, चीन ट्यूब थर्मल फर्नेस निर्माता, आपूर्तिकर्ता
